Vad litografi teknik används i mikrofluidik?

De flesta mikrofluidik använda "standard" litografi tekniker för mönstring hårt substrat såsom glas eller kisel. Detta skulle innebära spinning fotoresist, sedan utsätta och våt etsning i KOH (kisel) eller HF (glas) eller torka etsning i ett reactive ion etsare eller djupt reactive ion etsare. Mjuk litografi är också vanligt i mikrofluidik där en mask är skapad med ett hårt material som mönstrade SU-8 eller etsat glas. En polymer som PDMS sedan kastas på mögel att skapa mikroflödessystem funktioner.